□ 기술의 특징
- 고진공 스퍼터링 증착법을 이용해 SnO2, ZnO, NiCr 중 두 개를 기판 위에 이중층으로 증착하고, 400~700°C의 열처리를 통해 MOS와 전극을 접합하여 가스 센서를 제조함
□ 기술의 효과
- 고진공 환경에서 스퍼터링 공정을 이용한 박막 증착을 통해 불순물로 인한 오염을 최소화할 수 있고, 열처리 온도를 조절해 센서의 안정성을 향상시킴
□ 기술의 장점
- 고진공 스퍼터링 증착법을 이용해 제조 시 발생할 수 있는 오염을 최소화하여 생산성 및 경제성을 향상시킬 수 있음
- 열처리 온도 조절을 통해 700 ℃보다 높은 경우 고온에서의 확산으로 인한 이차상 형성으로 성능 저하와 400 ℃보다 낮은 경우 기판과 증착 소재 간의 충분한 접합성을 갖지 못해 박막이 탈락하는 문제를 해결할 수 있음
|
